中国は現行の輸出規制の下では、商業的に実用可能なEUV装置を入手したことは一度もない。それらを複製するには、光学、プラズマ物理学、材料科学、ソフトウェアといった分野における画期的な進歩が必要であり、これは大手企業が数十年と数百億ドルを費やしてようやく達成したものだ。高度な深紫外線（DUV）装置でさえ、部品、保守、ソフトウェアのアップデートが制限されているため、中国が既存の装置を維持し、最先端技術に近い領域で運用する能力はさらに制限されている。